功能特性：
- 階高量測(cè)分辨率可達(dá)0.1 nm
- 使用白光干涉量測(cè)技術(shù)，非破壞性、快速表面形貌量測(cè)與分析
- 模塊化設(shè)計(jì)可依量測(cè)需求及預(yù)算考慮進(jìn)行各部件選配
- 可搭配彩色或單色相機(jī)進(jìn)行2D量測(cè)，使系統(tǒng)亦具備工具顯微鏡量測(cè)功能
- 搭載電動(dòng)鼻輪，可同時(shí)掛載多種物鏡并程控切換使用
- 可選擇LED光源或是鹵素光源
- 量測(cè)范圍可涵蓋150 mm x150 mm
- 整合低倍率物鏡(5X與2.5X倍率)，可進(jìn)行大面積3D量測(cè)
- 提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度
- 具備暗點(diǎn)以及邊界錯(cuò)誤問(wèn)題修正算法
- 友善的人機(jī)接口，簡(jiǎn)單的圖形化控制系統(tǒng)及3D圖型顯示
- 可交換式的文件格式，可儲(chǔ)存與讀取數(shù)種3D輪廓文件格式
- 強(qiáng)大的STA Master表面輪廓分析軟件，提供超過(guò)150種線、面輪廓參數(shù)計(jì)算
- 自動(dòng)化快速自我校正，確認(rèn)系統(tǒng)量測(cè)能力
- 提供中/英文程序界面切換
- 提供腳本量測(cè)功能，具備自動(dòng)量測(cè)能力
技術(shù)規(guī)格：
Ø Chroma 7503三維光學(xué)輪廓儀新一代的系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì)，具備高度彈性之組合配置，可針對(duì)不同之量測(cè)需求配置來(lái)符合不同之量測(cè)應(yīng)用：搭載電動(dòng)鼻輪，*多可同時(shí)掛載5種物鏡，使用時(shí)直接切換，省去手動(dòng)更換的麻煩。同時(shí)配備電動(dòng)調(diào)整移動(dòng)平臺(tái)，可對(duì)樣品作自動(dòng)調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大，適合各種自動(dòng)量測(cè)之應(yīng)用，樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測(cè)與分析，*適合使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。
Ø Chroma 7503之高度分辨率可達(dá)0.1 nm，而搭配使用Z垂直軸量測(cè)掃描行程更可達(dá)到100mm，且水平軸向亦可達(dá)次微米解析，除此Chroma 7503 可透過(guò)計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行水平掃瞄，使其水平軸向量測(cè)范圍可達(dá)到150 × 150mm，并可依據(jù)客戶需求修改平臺(tái)尺寸。Chroma 7503搭配快速的校正程序以及演算原理，系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合數(shù)種**且強(qiáng)固可靠的算法，因此本系列產(chǎn)品可同時(shí)擁有高精準(zhǔn)度以及大范圍量測(cè)的特質(zhì)。
Ø Chroma 7503系統(tǒng)配備自動(dòng)化掃描平臺(tái)，藉由垂直軸自動(dòng)化移動(dòng)平臺(tái)的掃描功能搭配快速的自動(dòng)對(duì)焦算法，可有效輔助用戶找到*佳的對(duì)焦位置，另外藉由傾斜調(diào)整平臺(tái)可快速地將待測(cè)物調(diào)平，在短短的幾秒鐘之內(nèi)無(wú)需繁復(fù)的操作，系統(tǒng)即可自動(dòng)將待測(cè)物體調(diào)整至*佳對(duì)焦位置并予以調(diào)平進(jìn)行量測(cè)。
Ø 在眾多高科技產(chǎn)業(yè)中，諸如半導(dǎo)體、平面顯示器、光纖通訊、微機(jī)電(MEMS)、生物醫(yī)學(xué)與電子封裝等，由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定了產(chǎn)品的效能與功能，在其制程中皆需針對(duì)微結(jié)構(gòu)的表面輪廓質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)測(cè)。有鑒于此，Chroma 7503提供多種表面參數(shù)量測(cè)功能，如斷差高度、夾角、面積、體積、粗度、起伏、薄膜厚度及平整度以滿足業(yè)界與研究單位之需求。
Ø Chroma 7503兼具2D與3D量測(cè)，搭配快速倍率切換以及大面積接圖功能能應(yīng)付產(chǎn)業(yè)界的各種應(yīng)用需求。此外更加入彈性的模塊化設(shè)計(jì)，可依客戶端實(shí)際的應(yīng)用需求進(jìn)行搭配，讓用戶可在價(jià)格與功能規(guī)格之間取得平衡，是您提升效率及節(jié)省成本的*佳選擇。
選購(gòu)附件： 三維光學(xué)輪廓儀
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Model
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Description
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7503
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三維光學(xué)輪廓儀
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Imaging system
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影像系統(tǒng) 640x480 pixel (mono),640x480 pixel (color), 1000x1000 pixel (mono) *1, 1000x1000 pixel (color) *1
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Interference objective lens
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一般物鏡 2.5X *2, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X
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Conventional objective lens
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干涉物鏡 5X, 10X, 20X, 50X, 100X
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Tube lens
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筒鏡 0.45X, 0.5X, 1.0X
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Nose gear
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鼻輪 None, Manual rotary 5 holes, Electric rotary 5 holes
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Light Source
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光源 White light LED, Halogen, Mono LED
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Software
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軟件 STA Master
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7503 service
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Measurement Service
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咨詢專線:
在訂貨前*好還是致電我們，以確定貨期和數(shù)量。
咨詢電話：021-530842187 -111
專線：18616355232 / 18602120232 包小姐/景小姐
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