簡要概述：
RTS-3型手持式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
儀器采用了*新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測試臺(tái)使用。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
技術(shù)參數(shù)：
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測量范圍
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電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；
方塊電阻：0.1～19999Ω/□；
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恒流源
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電流量程分為100μA、1mA兩檔，兩檔電流連續(xù)可調(diào)
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ； 精度：±0.1%；
顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù)，直觀清晰；極性、超量程自動(dòng)顯示；
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四探針探頭基本指標(biāo)
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間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
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(見探頭附帶的合格證)
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模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)
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1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
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整機(jī)測量*大相對誤差
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(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
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整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
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≤5%
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外型尺寸
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185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高)
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重量
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350g
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電源
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鋰電池，一次充電可連續(xù)使用100小時(shí)；
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
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溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強(qiáng)光直射；
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