產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與用途:
儀器采用了*新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測(cè)試臺(tái)使用。
Ø 本儀器廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能單晶(多晶)生產(chǎn)廠家為硅材料的分選測(cè)試,半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。

技術(shù)參數(shù):
便攜式四探針測(cè)試儀按測(cè)量范圍可選配RTS-2型或RTS-2A型,區(qū)別:測(cè)量范圍不一樣。
RTS-2測(cè)量范圍
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電阻率:0.01~1999.9Ω.cm;
方塊電阻:0.1~19999Ω/□;
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RTS-2A測(cè)量范圍
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電阻率:0.001~199.99Ω.cm;
方塊電阻:0.01~1999.9Ω/□;
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RTS-2恒流源
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電流量程分為100μA、1mA兩檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
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RTS-2A恒流源
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電流量程分為1mA、10mA兩檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;
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四探針探頭基本指標(biāo)
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間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
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(見(jiàn)探頭附帶的合格證)
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模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)
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1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
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整機(jī)測(cè)量*大相對(duì)誤差
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(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%
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整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
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≤5%
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外型尺寸
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125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深)
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
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溫度:23±2℃;
相對(duì)濕度:≤65%;
無(wú)高頻干擾;
無(wú)強(qiáng)光直射;
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